サイエンス
電子機器に大変革をもたらす可能性を秘めた画期的な技術が開発された
エレクトロニクス機器のエネルギー効率を向上させるため、マイクロチップ上に直接エネルギーを蓄えることが出来るコンデンサを組み込む研究が進められている。これは未だ達成されていない目標であるが、今回Lawrence Berke […]
Term
3Dトレンチ・キャパシタ
別名: 3D Trench Capacitor
Overview
シリコン基板の表面に深い溝（トレンチ）をエッチングで形成し、その内部に電極と誘電体層を積層する3次元構造のコンデンサである。平面的な構造に比べて、限られたチップ面積（フットプリント）内で極めて大きな表面積を確保できるため、静電容量を大幅に増大させることが可能である。主にDRAMのメモリセルにおける電荷蓄積用として広く採用されている技術であり、近年ではマイクロプロセッサ上に直接エネルギー貯蔵機能を統合するためのオンチップ・マイクロキャパシタへの応用が期待されている。
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1 件External Mentions
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