ジルコニウム酸化物

化学式ZrO2で表される材料で、一般にはジルコニアとして知られる。非常に高い融点と硬度、耐食性を持ち、酸素センサーや歯科材料、刃物など幅広く利用されている。エレクトロニクス分野では、ハフニウム酸化物と構造的に類似しているため、これらを混合または積層することで誘電特性や強誘電性を精密に制御するために用いられる。特に、原子層堆積（ALD）法を用いた薄膜形成において、特定の相状態を安定化させ、負の容量効果などの特殊な物理現象を引き出すための重要な構成要素となっている。