Term

ダブルスタック

別名: Double Stack

Overview

ダブルスタックは、3D NANDフラッシュメモリの製造工程において、メモリセルの層を2つのブロック(スタック)に分けて形成し、それらを垂直に接合する技術です。層数が増えるほど一度の工程で穴を開けるチャネルホールエッチングが困難になりますが、スタック数を抑えることで製造工程の簡略化、歩留まりの改善、およびコスト削減が可能になります。

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