サイエンス
ペロブスカイト太陽電池、量産化へ最後の壁を突破か？住友重機械が「200倍速・コスト200分の1」の革新技術RPD法を発表
次世代エネルギーの本命と目される「ペロブスカイト太陽電池」。その高い潜在能力とは裏腹に、量産化への道のりには常に「製造コスト」と「熱に弱い」という二つの大きな壁が立ちはだかってきた。しかし、その膠着状態を打ち破る可能性を […]
Term
反応性プラズマ蒸着法
別名: RPD法, Reactive Plasma Deposition
Overview
最終更新: 2026年7月9日反応性プラズマ蒸着法（RPD法）は、住友重機械工業が独自に開発した物理気相成長法（PVD）の一種である。プラズマガンから放出された電子を磁場で制御し、材料を昇華・活性化させることで、基板への熱ダメージを抑えながら高品質な薄膜を形成する。従来のPVD法と比較して、高エネルギー粒子の衝突による下地層へのダメージが極めて少ないため、熱や衝撃に弱いペロブスカイト層の上への電子輸送層（ETL）成膜に最適とされる。また、プラズマ状態を精密に制御することで、酸化スズなどの材料において特定の電気的特性（整流作用など）を持たせることが可能であり、次世代デバイス製造の鍵となる技術として注目されている。