シリコンパワーウェハー

電力の変換や制御を行うパワー半導体デバイスを製造するためのシリコンウェハー。一般的なロジック半導体用ウェハーと異なり、垂直方向に電流を流す構造を持つことが多いため、ウェハー自体の厚みが電気抵抗（基板抵抗）に直結する。ウェハーを薄く加工することで、デバイスのオン抵抗を低減し、電力損失を抑えることが可能になるが、極端な薄型化は製造過程での反りや破損のリスクを高めるため、高度な研削・ハンドリング技術が要求される。