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スマート・センシング・システム

別名: Smart Sensing System

Overview

最終更新: 2026年7月9日

Samsung Electronicsが開発した、半導体工場の完全無人化を目指すためのシステム。ウェハーのプラズマ均一性を測定する小型のスマートセンサーを活用し、エッチング、蒸着、洗浄などのプロセスをAIで管理・制御することで、歩留まりの向上と生産改善を図る。

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