変位型位相変調器

Silicon Light Machines（SLM）社が開発した独自のMEMSデバイス。シリコンゲルマニウムを用いた微細な機械構造により、光路長を直接変化させることで光の位相を制御する。従来の液晶方式（LCOS）と比較して、機械的なピストンの動きを利用するため応答速度が桁違いに速く、信頼性が高い。中性原子量子コンピュータにおける高速な原子アドレッシングを実現する鍵となる。