MEMS
別名: Micro Electro Mechanical Systems, 微小電気機械システム, MEMS重力計, ピエゾMEMS, PiezoMEMS, MEMSセンサー, MEMS
Overview
MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems、微小電気機械システム)は、半導体製造技術を応用して作られる、マイクロメートルサイズの機械要素と電子回路を統合したデバイスの総称です。センサー(加速度センサー、ジャイロセンサー、圧力センサーなど)やアクチュエーター(マイクロミラー、マイクロポンプ、スイッチなど)として広く利用されています。スマートフォン、自動車、医療機器、産業機器など、多岐にわたる分野でその応用が進んでいます。Menlomicroは、このMEMS技術を利用して、高周波信号や大電流の経路を切り替える「Ideal Switch」を開発しています。
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