化学気相成長法

気体状の炭素源（メタンなど）をプラズマや熱で分解し、基板上に炭素原子を堆積させてダイヤモンドを形成する手法。HPHT法に比べて比較的低い圧力で合成が可能だが、依然として高温環境を必要とする。