Term

熱蒸着法

別名: Thermal Evaporation

Overview

最終更新: 2026年7月9日

熱蒸着法は、高真空のチャンバー内で材料を加熱して気化させ、その蒸気を基板表面に付着させて薄膜を形成する技術である。有機EL(OLED)ディスプレイの製造などで広く普及している。従来のペロブスカイト太陽電池で一般的だったスピンコート法(塗布法)と比較して、溶媒を使用しないため環境負荷が低く、ピンホールのない極めて均一なナノレベルの薄膜を形成できる利点がある。本記事では、この手法を採用することで、10ナノメートルという極薄の太陽電池層を欠陥なく作製することに成功した。

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