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マイクロ波プラズマ化学気相成長法

別名: MPCVD, Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition

Overview

最終更新: 2026年7月9日

マイクロ波エネルギーを利用して原料ガスをプラズマ状態に分解し、基板上に高品質な薄膜を堆積させる技術。特に人工ダイヤモンドの合成において主流のプロセスであり、他の成膜手法と比較して不純物が少なく、結晶性の高い膜を比較的低温で形成できる利点がある。半導体デバイスの放熱層や光学部品のコーティングなどに広く応用されている。

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