サイエンス
中国、半導体製造で大きな進展:リソグラフィ欠陥を99%削減する新技術を発表
中国の研究チームが、半導体製造の心臓部である「リソグラフィ」工程において、歩留まりを阻害する微細な欠陥を99%以上削減する画期的な手法を開発した。生物学の分野で利用されてきたクライオ電子線トモグラフィー(Cryo-ET) […]
別名: Cryo-ET, Cryo-electron tomography
クライオ電子線トモグラフィー(Cryo-ET)は、液体試料を急速凍結させてガラス化し、電子顕微鏡を用いて様々な角度から撮影した画像を統合することで、対象の3次元構造を分子レベルの解像度で再構築する技術である。もともとは生物学分野でタンパク質やウイルスの構造を自然な状態で観察するために開発されたが、近年では半導体材料の分子挙動の解析など、材料科学分野への応用が進んでいる。