歩留まり

歩留まりは、半導体製造における生産効率と経済性を測る最も重要な指標の一つである。一つのウェハーから製造される全チップ数に対する良品チップの割合を指す。微細化が進むほど、わずかな塵や分子レベルの欠陥が致命的な故障につながるため、歩留まりの維持・向上には高度なプロセス制御技術が不可欠となる。