有機金属化学気相成長法

有機金属化合物と水素化物を原料ガスとして用い、加熱された基板上で化学反応（熱分解）させることで、高品質な化合物半導体の単結晶薄膜を成長させる技術。膜厚を原子層レベルで精密に制御でき、かつ大面積のウェハー規模での均一な成長が可能なため、LEDやレーザーダイオード、次世代半導体デバイスの量産プロセスにおいて不可欠な製造手法となっている。