光導波路

光導波路は、光を特定の構造内に閉じ込め、その経路に沿って効率的に伝送するためのデバイスである。光ファイバーをナノスケールまで微細化し、チップ表面や内部に形成したものに相当する。周囲の材料よりも屈折率が高い材料を芯（コア）に用いることで、全反射を利用して光を導く。SmaraQプロジェクトでは、紫外線を透過しやすい窒化アルミニウム（AlN）などを用いて、イオンを制御するためのレーザー光をピンポイントで届けるための「光の高速道路」として設計されている。