窒化アルミニウム

高い熱伝導率と電気絶縁性を併せ持つ化合物半導体材料。圧電効果（電圧を加えると変形する性質）が強いため、高周波のバルク弾性波フィルタやマイクロ電気機械システム（MEMS）のアクチュエータとして広く利用される。本研究では、光導波路を高速で振動させるための駆動部として採用された。