サイエンス
中国研究チーム、半導体製造用固体DUVレーザー光源開発に成功
中国科学院の研究チームが、半導体チップ製造の微細加工に不可欠な波長193ナノメートル（nm）の深紫外（DUV）レーザーをコンパクトな固体光源で生成することに成功した。従来のガスベースのエキシマレーザーとは異なるこのアプロ […]
Tech Product
Advanced Photonics Nexus
Overview
最終更新: 2026年7月9日国際光工学会（SPIE）と中国レーザープレス（CLP）が共同で発行する、オープンアクセスの学術ジャーナル。光学およびフォトニクス全般における画期的な研究成果を迅速に公開することを目的としており、基礎研究から応用技術まで幅広いトピックをカバーしている。
Mentioned Articles
1 件External Mentions
5 件- arXiv Highly-sensitive mid-infrared upconversion detection based on external-cavity pump enhancement
- arXiv Wide-field mid-infrared cavity-enhanced upconversion imaging
- arXiv Ultrafast Pulse Retrieval from Partial FROG Traces Using Implicit Diffusion Models
- arXiv Snapshot multi-spectral imaging through defocusing and a Fourier imager network
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