サイエンス
中国研究チーム、半導体製造用固体DUVレーザー光源開発に成功
中国科学院の研究チームが、半導体チップ製造の微細加工に不可欠な波長193ナノメートル（nm）の深紫外（DUV）レーザーをコンパクトな固体光源で生成することに成功した。従来のガスベースのエキシマレーザーとは異なるこのアプロ […]
Term
渦ビーム
別名: Vortex beam, 光渦
Overview
最終更新: 2026年7月9日光の進行方向に垂直な平面内で、等位相面が螺旋状の構造を持つ特殊な光ビーム。光子1つ1つが軌道角運動量を持っており、ビームの中心強度がゼロになるドーナツ型の強度分布を示す。半導体の欠陥検査、光ピンセットによる微小粒子の操作、大容量の量子通信など、次世代の光学応用技術として期待されている。