DUV
別名: 深紫外線露光装置, DUV, Deep Ultraviolet Lithography, DUV装置, DUVリソグラフィ装置, DUVリソグラフィ, 深紫外線リソグラフィ, DUV露光装置, 深紫外線, Deep Ultraviolet
Overview
EUV(極端紫外線)よりも波長が長い光を用いる露光技術。最先端プロセスではEUVが主流だが、YMTCは輸出規制によりEUVが使えないため、DUVを用いた多重露光技術で高積層化を試みている。
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