エキシマレーザー

希ガス（アルゴン、クリプトンなど）と反応性の高いハロゲンガス（フッ素、塩素など）の混合物を使用するガスレーザー。高電圧パルスによって形成された不安定な励起状態の分子（エキシマー）が崩壊する際に、強力な紫外光を放出する。半導体露光装置の光源として長年主流となっているが、ガスの管理や装置の大型化が課題とされる。