サイエンス
中国研究チーム、半導体製造用固体DUVレーザー光源開発に成功
中国科学院の研究チームが、半導体チップ製造の微細加工に不可欠な波長193ナノメートル（nm）の深紫外（DUV）レーザーをコンパクトな固体光源で生成することに成功した。従来のガスベースのエキシマレーザーとは異なるこのアプロ […]
Term
和周波発生
別名: SFG, Sum-Frequency Generation
Overview
最終更新: 2026年7月9日非線形光学現象の一種で、2つの異なる周波数の光を特定の結晶（非線形光学結晶）に入射させた際、それらの周波数の合計に等しい周波数を持つ第3の光が生成されるプロセス。この技術を用いることで、単一のレーザーでは直接得ることが難しい短波長の光（深紫外光など）を効率的に生成することが可能になる。