Tech Product

Twinscan NXE:3800E

Overview

最終更新: 2026年8月24日

オランダのASML社が提供する、最先端の極端紫外線(EUV)露光装置。次世代のHigh-NA EUV装置からウェハーハンドリング技術などを流用しており、時間当たり220枚という高いスループット(処理能力)を実現している。IntelのFab 52に導入され、18Aプロセスなどの量産に貢献している。

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