テクノロジー
ASML独占に風穴か?Inversion Semiconductorが挑む「小型粒子加速器」による次世代EUVリソグラフィ
半導体業界の巨人ASMLが築き上げたEUV(極端紫外線)リソグラフィという牙城に、サンフランシスコから現れた無名のスタートアップが真っ向から挑もうとしている。2024年に設立されたばかりのInversion Semico […]
別名: LWFA, Laser Wakefield Acceleration
高強度の超短パルスレーザーをプラズマ中に照射し、その背後に生じる強力な電場(プラズマ波)を利用して電子を加速する技術。従来の粒子加速器が数キロメートルに及ぶ巨大な高周波空洞を必要とするのに対し、LWFAは数ミリメートルから数センチメートルの距離で同等の加速を実現できるため、加速器の劇的な小型化(テーブルトップ化)が可能となる。この技術により生成された高エネルギー電子ビームを磁石で制御することで、高輝度な自由電子レーザーを発生させることができ、次世代のリソグラフィ光源としての応用が期待されている。