マルチレンズテクノロジー

マルチレンズテクノロジーは、ニコンがフラットパネルディスプレイ（FPD）露光装置の分野で確立した独自の光学制御技術である。大型の基板（パネル）を露光する際、単一の巨大なレンズを製造することは技術的・コスト的に極めて困難であるが、この技術では比較的小さな複数の投影レンズをアレイ状に配置し、それぞれのレンズが担当する露光領域を精密に重ね合わせる（スティッチング）。高度な制御アルゴリズムにより、レンズ間のつなぎ目を全く感じさせない均一なパターン形成を可能にしている。これにより、テレビ用の大型液晶パネルや有機ELパネルの製造において圧倒的な生産効率を実現してきた。最新の半導体パッケージング装置「DSP-100」においても、この技術を応用することで、600mm角という巨大な基板に対して高精度な回路形成を実現している。