テクノロジー
3D NAND製造に革新、エッチング速度2倍の新技術でSSD高速化・大容量化に期待
3D NAND型フラッシュメモリの製造プロセスに革新が起ころうとしている。研究者らが開発した新しいプラズマエッチング技術により、製造効率が大幅に向上し、将来的にはSSDやメモリカードなどのストレージデバイスの高速化・大容 […]
別名: PPPL, Princeton Plasma Physics Laboratory
米国エネルギー省プリンストンプラズマ物理学研究所(PPPL)は、プリンストン大学が管理・運営する国立研究所である。磁場閉じ込め核融合の研究で世界をリードするほか、プラズマを用いたナノテクノロジーや半導体製造プロセスの基礎研究も行っている。プラズマの挙動を精密に制御・解析する知見を活かし、次世代のデバイス製造技術の向上に寄与している。