テクノロジー
3D NAND製造に革新、エッチング速度2倍の新技術でSSD高速化・大容量化に期待
3D NAND型フラッシュメモリの製造プロセスに革新が起ころうとしている。研究者らが開発した新しいプラズマエッチング技術により、製造効率が大幅に向上し、将来的にはSSDやメモリカードなどのストレージデバイスの高速化・大容 […]
Term
フッ化ケイ素酸アンモニウム
別名: AFS, Ammonium fluorosilicate
Overview
最終更新: 2026年7月9日フッ化ケイ素酸アンモニウム（AFS）は、窒化ケイ素（SiN）がフッ化水素（HF）と反応する際に形成される化学物質である。半導体のエッチング工程においては、この物質が表面に堆積することでエッチングの進行を妨げる要因となるが、本記事の研究では水を添加することでその影響を抑制し、プロセスを効率化できることが明らかにされた。