
テクノロジー
3D NAND製造に革新、エッチング速度2倍の新技術でSSD高速化・大容量化に期待
3D NAND型フラッシュメモリの製造プロセスに革新が起ころうとしている。研究者らが開発した新しいプラズマエッチング技術により、製造効率が大幅に向上し、将来的にはSSDやメモリカードなどのストレージデバイスの高速化・大容 […]
別名: PPPL, Princeton Plasma Physics Laboratory
プリンストンプラズマ物理学研究所(PPPL)は、米国エネルギー省(DOE)の国立研究所であり、プリンストン大学によって管理・運営されている。主に核融合エネルギーの開発やプラズマ物理学の基礎研究を行っているが、その知見を半導体製造におけるプラズマエッチングなどのナノテクノロジーに応用する研究も進めている。高度なプラズマシミュレーションや実験を通じて、次世代の微細加工技術の進展に寄与している。