テクノロジー
3D NAND製造に革新、エッチング速度2倍の新技術でSSD高速化・大容量化に期待
3D NAND型フラッシュメモリの製造プロセスに革新が起ころうとしている。研究者らが開発した新しいプラズマエッチング技術により、製造効率が大幅に向上し、将来的にはSSDやメモリカードなどのストレージデバイスの高速化・大容 […]
Term
フッ化水素
別名: HF
Overview
最終更新: 2026年7月9日フッ化水素（HF）は、水素とフッ素からなる無機化合物で、半導体産業においてはシリコン酸化膜のエッチングや洗浄工程で極めて重要な役割を果たす。本記事では、従来のフッ素と水素を個別に供給する方法に代わり、フッ化水素プラズマを用いた低温エッチングを採用することで、3D NANDの製造効率を劇的に向上させる手法が示されている。