Company

Multibeam Corporation

別名: Multibeam

Overview

最終更新: 2026年7月9日

半導体製造装置大手Lam Researchの創業者であるDavid Lam氏によって設立された企業。高価なフォトマスクを必要としない「マスクレス・リソグラフィ」技術を開発している。特に、多数の電子ビームを並列に駆動させるマルチカラム電子ビーム(MEBL)技術により、従来は低速だった電子ビーム描画のスループットを劇的に向上させ、レチクル限界に縛られない自由なチップ設計や迅速な試作を可能にすることを目指している。