テクノロジー
HuaweiがLDP技術で独自EUVリソグラフィ装置を開発：2026年量産へ
中国Huaweiが米国制裁を迂回する新たな半導体技術として、独自のEUVリソグラフィ装置の開発を進めている。従来のASML製造装置とは異なるレーザー誘起放電プラズマ（LDP）技術を採用したこの装置は、現在東莞施設でテスト […]
Term
レーザー誘起放電プラズマ
別名: LDP, Laser-induced Discharge Plasma
Overview
最終更新: 2026年7月9日レーザー誘起放電プラズマ（LDP）は、極端紫外線（EUV）光を生成するための技術の一つ。少量のスズをレーザーで気化させてガス状の雲を形成し、そこに電極間で高電圧を印加することでプラズマを発生させる。ASMLが採用するレーザー生成プラズマ（LPP）方式と比較して、装置の構造を簡素化でき、エネルギー効率の向上やコスト削減、装置の小型化が可能になると期待されている。