テクノロジー
Applied Materials、原子レベルの「オングストローム時代」を拓く3つの新装置を発表
半導体製造装置の巨人、Applied Materials（AMAT）が、AIコンピューティングの性能を飛躍させるための3つの革新的な製造システムを発表した。世界初の統合型ダイ・ツー・ウェハー・ハイブリッドボンディングシス […]
Tech Product
PROVision 10
別名: PROVision 10 eBeam
Overview
PROVision 10は、半導体製造における3次元構造の内部を原子レベルで可視化する電子ビーム（eBeam）計測システムである。業界で初めて冷陰極電界放出（CFE）技術を採用し、従来の熱電界放出方式に比べてより細く高輝度なビームを生成できる。これにより、解像度を最大50%向上させ、イメージング速度を最大10倍に高速化した。GAAトランジスタのナノシート計測や、チップ積層時の重ね合わせ精度管理など、サブナノメートル単位の極めて高度な品質管理を実現する。
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1 件External Mentions
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