冷陰極電界放出

冷陰極電界放出（CFE: Cold Field Emission）は、電子銃から電子を取り出す方式の一つで、フィラメントを加熱せずに強い電界をかけることで電子を放出させる技術です。従来の熱電界放出（TFE）方式と比較して、放出される電子のエネルギー幅が狭く、より細く高輝度な電子ビームを生成できるという特徴があります。これにより、電子顕微鏡や半導体計測装置において、極めて高い解像度と高速なイメージングを実現することが可能になります。半導体の微細化がオングストローム単位に達する中で、3次元構造の内部を精密に観察・計測するためのキーテクノロジーとして注目されています。