レーザーアニール技術の需要拡大:SiCから400層NAND、HBM実装までを支える次世代熱処理プロセス
半導体製造の微細化や構造の複雑化に伴い、熱ダメージを抑えつつ局所的な熱処理が可能なレーザーアニール技術の重要性が高まっている。次世代SiCパワー半導体の大口径化や積層NAND、HBMの製造における歩留まり向上を実現する鍵として期待されている。
別名: Hybrid Bonding, ハイブリッドボンディング, ハイブリッド接合
Hybrid bonding is an advanced semiconductor packaging technique that directly connects copper pads between chips without the use of traditional solder bumps. This allows for much higher interconnect density, improved thermal performance, and reduced vertical height, which is critical for next-generation HBM stacking.
半導体製造の微細化や構造の複雑化に伴い、熱ダメージを抑えつつ局所的な熱処理が可能なレーザーアニール技術の重要性が高まっている。次世代SiCパワー半導体の大口径化や積層NAND、HBMの製造における歩留まり向上を実現する鍵として期待されている。
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