Term

シリコン貫通電極

別名: TSV, Through-Silicon Via

Overview

シリコンウェハを垂直に貫通する電極を形成し、積層された複数のチップ間を最短距離で電気的に接続する技術。HBMなどの3次元積層半導体において、高速なデータ転送と低消費電力化を実現するための基幹技術となっている。

Mentioned Articles

11 件