テクノロジー
酸化ガリウム、6インチエピタキシャルウェハの量産供給へ Garen Semiconductorが8インチ対応ラインを整備
Hangzhou Garen Semiconductorが、6インチおよび8インチの酸化ガリウム・ホモエピタキシャルウェハの量産体制を整え、主要メーカーへの納入を開始した。独自の結晶成長技術により、大口径化と膜厚の均一性を両立させ、大幅なコスト低減と産業化を加速させる。
Term
酸化ガリウム
別名: Ga2O3
Overview
最終更新: 2026年7月9日ガリウムの酸化物であり、窒化ガリウム（GaN）やシリコンカーバイド（SiC）を上回る広いバンドギャップを持つ超ワイドバンドギャップ半導体。非常に高い電圧に耐えられる特性を持ち、電力網の制御や電気鉄道、電気自動車などの過酷な環境下で作動するパワーデバイスへの応用が研究されている。低コストな単結晶基板の製造が可能である点も注目されている。
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