テクノロジー
SamsungのHigh-NA EUV、1nm級A10世代から量産投入と報道：2nm・1.4nmは0.33NA中心
Samsungは2nm・1.4nmで0.33 NA EUVのマルチパターニングを軸にし、High-NA EUVは1nm級A10世代からの量産投入を目指すと報じられた。装置性能と工程認定の時期を分けて読む必要がある。
Term
SF1.4
Overview
最終更新: 2026年7月9日Samsungが2027年の量産開始を予定している1.4nm世代のプロセスノード。同社のロードマップにおいてSF2Zの次のステップに位置づけられているが、現時点ではBSPDNの搭載は見送られる計画となっている。
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