Tech Product

NSR-S333F

Overview

最終更新: 2026年7月9日

NSR-S333Fは、ニコンが2025年9月に発表した最新のArFドライスキャナである。液浸を用いないドライ露光方式において、業界最高水準となる毎時300枚以上のウェハ処理能力(スループット)を実現している。2026年下半期からの初期出荷を予定しており、高い生産性と安定稼働が求められる半導体製造ラインにおいて、コストパフォーマンスを重視する顧客向けの戦略製品として位置づけられている。

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