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High-NAリソグラフィ

High-NAリソグラフィとは、従来のEUV露光装置よりも開口数を高め、より微細なパターンを一括露光できる次世代の半導体製造技術である。IntelやTSMCなどが1nm台の最先端ロジック半導体プロセス開発で導入を進めている。

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