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EUVリソグラフィ

EUVリソグラフィとは、波長13.5nmの極端紫外線を用いてシリコンウェハー上に微細な回路パターンを露光形成する半導体製造技術である。先端ロジック半導体やDRAMの量産に不可欠で、ASMLが装置を独占供給している。

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