テクノロジー
中国企業がASML製DUV装置のリバースエンジニアリングに失敗しASMLに修理を依頼
米中間の技術覇権争いが激化する中、中国が半導体製造装置（SPE）の国産化を急ぐ状況で、象徴的な事件が報じられた。中国国内の技術者が、オランダASML社製のDUV（深紫外線）露光装置をリバースエンジニアリング目的で分解した […]
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DUV
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テクノロジーSMIC、国産DUV装置で「5nm」への道筋か：中国半導体、“エベレスト”計画の全貌と地政学的インパクト
米国の厳格な輸出規制の下、半導体技術の自給自足を目指す中国の挑戦が、新たな局面を迎えた。中国最大の半導体ファウンドリーであるSMIC (Semiconductor Manufacturing International […]
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サイエンス中国研究チーム、半導体製造用固体DUVレーザー光源開発に成功
中国科学院の研究チームが、半導体チップ製造の微細加工に不可欠な波長193ナノメートル（nm）の深紫外（DUV）レーザーをコンパクトな固体光源で生成することに成功した。従来のガスベースのエキシマレーザーとは異なるこのアプロ […]
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テクノロジー中国政府、オランダのASML半導体製造装置輸出規制に強く不満を表明
オランダ政府は2024年9月6日金曜日、半導体製造装置大手ASMLの先端DUV（深紫外線）露光装置に対する輸出規制を拡大すると発表した。この決定を受け、中国政府は強い不満を表明し、オランダに警告を発した。 中国政府の反応 […]